摘要: <正> 一、引言 聚焦离子束(FIB)和二次离子质谱(SIMS)结合的微区分析二次离子质谱仪,简称离子探针,可以对材料或器件进行微区成份分析。由于采用质谱技术,具有很高的检测灵敏度(ppm)。一般离子控针的离子枪用双等离子体离子源,可得到束斑1μm、束流密度50mA/Cm~2的离子束。七十年代末提出场发射液态金属离子源(LMIS),用它制作的离子枪可获得束斑0.1μm、束流密度1A/cm~2的离子束。1986年美国芝加哥大学和Hughes实验室研制出亚微米离子探针,即液态金属离子源的聚焦离子束加四极质谱装置(LMIS-FIB+QMS),用它可进行高灵敏度的亚微米微区分析。