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原子探针的研制

原子探针的研制[J]. 质谱学报, 1990, 11(1): 22-22.
引用本文: 原子探针的研制[J]. 质谱学报, 1990, 11(1): 22-22.
shu
Development of Atom Probe[J]. Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 1990, 11(1): 22-22.
Citation: Development of Atom Probe[J]. Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 1990, 11(1): 22-22.
shu

原子探针的研制

  • @刘永昌中国科学院科学仪器厂@李士丽中国科学院科学仪器厂@陈之和中国科学院科学仪器厂@傅锟明中国科学院科学仪器厂@肖桂里$中国科学院科学仪器厂

Development of Atom Probe

摘要

    摘要
  • 摘要: 本文叙述直线型原子探针的设计和制造技术,其质量分辨本领M/△M≈300,探测效率约50％。文中还讨论了提高质量分辨本领的方法。
    Abstract: In this paper, the development of Linear-type Time-of-Flight Atom Probe has been described. The resolution M/△M is about 300, and the detect efficiency is about 50%. We also discuss how the mass resolution can be further improved.
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  • [1] Muller, E. W., Panitz, J.A
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-09-21
  • 刊出日期:  1990-05-31

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