硅元表面污染物的TOF-SIMS检测

何小青, 梁汉东

何小青, 梁汉东. 硅元表面污染物的TOF-SIMS检测[J]. 质谱学报, 2007, 28(增刊(无机)): 65-67.
引用本文: 何小青, 梁汉东. 硅元表面污染物的TOF-SIMS检测[J]. 质谱学报, 2007, 28(增刊(无机)): 65-67.
HE Xiao-qing, LIANG. Analysis of Contamin[J]. Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 2007, 28(增刊(无机)): 65-67.
Citation: HE Xiao-qing, LIANG. Analysis of Contamin[J]. Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 2007, 28(增刊(无机)): 65-67.

硅元表面污染物的TOF-SIMS检测

详细信息
  • 中图分类号: O657.63

Analysis of Contamin

  • [1] 曹永明, 王
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出版历程
  • 收稿日期:  1899-12-31
  • 修回日期:  1899-12-31
  • 刊出日期:  2007-09-30

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